Electronic Documents Search

Documents found: 1

1

Особенности технологии производства микромеханических гироскопов: научный доклад: 11.06.01 - Электроника, радиотехника и системы связи ; 11.06.01_03 - Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники

Creators	Алексеев Рустам Александрович
Scientific adviser	Александров Сергей Евгеньевич
Organization	Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта
Imprint	Санкт-Петербург, 2019
Collection	Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция
Subjects	оптимизация; травление; бондинг; Optimization; etching; anodic bonding
Document type	Scientific report
File type	PDF
Language	Russian
Level of education	Graduate student
Speciality code (FGOS)	11.06.01
Speciality group (FGOS)	110000 - Электроника, радиотехника и системы связи
DOI	10.18720/SPBPU/6/2019/vn19-72
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

pdf, 1.9 Mb

1