Electronic Documents Search

Documents found: 1

1

Исследование процесса безмасочной литографии: выпускная квалификационная работа бакалавра: направление 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» ; образовательная программа 28.03.01_01 «Технологии материалов и изделий микросистемной техники»

Creators	Архипенко Виктория Алексеевна
Scientific adviser	Осипов Артём Арменакович
Organization	Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта
Imprint	Санкт-Петербург, 2021
Collection	Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects	безмасочная литография; 3D принтер; фоторезист; фотолитография; maskless lithography; 3D printing; photoresist; photolithography
Document type	Bachelor graduation qualification work
File type	PDF
Language	Russian
Level of education	Bachelor
Speciality code (FGOS)	28.03.01
Speciality group (FGOS)	280000 - Нанотехнологии и наноматериалы
Links	http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/rev/vr21-2797-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/rev/vr21-2797-a.pdf
DOI	10.18720/SPBPU/3/2021/vr/vr21-2797
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

pdf, 1.7 Mb

1