Electronic Documents Search

Documents found: 1

1

Спектроскопия полной проводимости гетероструктур фосфида бора на кремниевых подложках, полученных методом плазмохимического осаждения // Научно-технические ведомости Санкт-Петербургского государственного политехнического университета. Сер.: Физико-математические науки. – 2024. – Т. 17, № 3. — С. 17-24

Creators	Баранов А. И.; Вторыгин Г. Э.; Уваров А. В.; Максимова А. А.; Вячеславова Е. А.; Гудовских А. С.
Imprint	2024
Collection	Общая коллекция
Subjects	Физика; Спектроскопия; фосфид бора; гетероструктуры; проводимость гетероструктур; спектроскопия полной проводимости; кремниевые подложки; плазмохимическое осаждение; водородная плазма; boron phosphide; heterostructures; conductivity of heterostructures; total conductivity spectroscopy; silicon substrates; plasma chemical deposition; hydrogen plasma
UDC	535.33
LBC	22.344
Document type	Article, report
File type	PDF
Language	Russian
DOI	10.18721/JPM.17302
Rights	Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

pdf, 352 Kb

1