Electronic Documents Search
Documents found: 2
-
Creators Клунникова Юлия Владимировна Other creators Малюков Сергей Павлович; Филимонов Алексей Владимирович Organization Южный федеральный университет (ЮФУ); Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого Imprint Санкт-Петербург, 2019 Collection Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция Subjects Сапфир; Кристаллы — Выращивание; Кристаллизация направленная; Микроэлектроника; Пленки тонкие — Получение — Применение плазмы UDC 548.5:549.517.14(043.3); 539.216.2(043.3) Document type Author's Abstract File type PDF Language Russian DOI 10.18720/SPBPU/2/r19-19 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) pdf, 1.3 Mb -
Creators Клунникова Юлия Владимировна Other creators Малюков Сергей Павлович; Филимонов Алексей Владимирович Organization Южный федеральный университет (ЮФУ); Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого Imprint Санкт-Петербург, 2019 Collection Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция Subjects Сапфир; Кристаллы — Выращивание; Кристаллизация направленная; Микроэлектроника; Пленки тонкие — Получение — Применение плазмы UDC 548.5:549.517.14(043.3); 539.216.2(043.3) Document type Author's Abstract File type PDF Language Russian DOI 10.18720/SPBPU/2/r19-19 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) pdf, 1.3 Mb
