Electronic Documents Search
Documents found: 2
-
Creators Куликов Михаил Игоревич Scientific adviser Смирнов Александр Сергеевич Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций Imprint Санкт-Петербург, 2019 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects низкотемпературная плазма; ВЧЕ-разряд; системы диагностики; моделирование; low-temperature plasma; RFС-discharge; diagnostic systems; modeling Document type Bachelor graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Bachelor Speciality code (FGOS) 03.03.02 Speciality group (FGOS) 030000 - Физика и астрономия Links http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-3917-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-3917-a.pdf DOI 10.18720/SPBPU/3/2019/vr/vr19-3917 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 0.8 Mb -
Creators Куликов Михаил Игоревич Scientific adviser Смирнов Александр Сергеевич Other creators Веселова Ирина Юрьевна; Барсуков Юрий Владимирович Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций Imprint Санкт-Петербург, 2021 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects Пленки тонкие; Кремний, нитриды; высокочастотный емкостной разряд; плазмохимическое травление; оптическая спектроскопия; нитрид кремния; оксид кремния UDC 621.794.4:539.216.2 Document type Master graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Master Speciality code (FGOS) 03.04.02 Speciality group (FGOS) 030000 - Физика и астрономия Links http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/rev/vr21-3573-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/rev/vr21-3573-r.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/rev/vr21-3573-a.pdf DOI 10.18720/SPBPU/3/2021/vr/vr21-3573 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 1.6 Mb
