Electronic Documents Search

Documents found: 1

Creators	Хуторщиков М. В.; Титов Андрей Иванович; Никулина Л. М.
Other creators	Глухов Владимир Викторович
Organization	Санкт-Петербургский государственный технический университет. Межвузовская научная конференция, Юбилейная неделя науки (30; 2001; Санкт-Петербург); Совет СПбГТУ по научно-исследовательской работе студентов
Imprint	Санкт-Петербург, 2003
Collection	Общая коллекция
Subjects	ионная имплантация; полупроводниковые материалы; ускоренные ионы
UDC	621.38:537.543.9
Document type	Article, report
File type	PDF
Language	Russian
Rights	Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

pdf, 202 Kb