Electronic Documents Search
Documents found: 1
-
Creators Юдакова Анна Александровна Scientific adviser Соловьев Юрий Владимирович Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт металлургии, машиностроения и транспорта Imprint Санкт-Петербург, 2017 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects Полупроводниковые приборы сверхвысокочастотные; Фотолитография; маски фоторезистивных слоев; транзисторы UDC 621.383.4(043.3); 776(043.3) Document type Master graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Master Speciality code (FGOS) 22.04.01 Speciality group (FGOS) 220000 - Технологии материалов DOI 10.18720/SPBPU/2/v17-3427 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 1.8 Mb