Electronic Documents Search
Documents found: 1
-
Sputtering materials for VLSI and thin film devices
Creators Sarkar Jaydeep Imprint Amsterdam [etc.]: Elsevier Inc., William Andrew, 2011 Collection Электронные книги зарубежных издательств; Общая коллекция Subjects Микроэлектроника; Пленки тонкие — Получение; Дисплеи UDC 539.23; 004.353; 621.38 Document type Other File type Other Language English Rights Доступ из локальной сети ФБ СПбПУ (чтение, печать, копирование) https://www.sciencedirect.com/science/book/9780815515937