Electronic Documents Search

Documents found: 1

  • Sputtering materials for VLSI and thin film devices

    Creators Sarkar Jaydeep
    Imprint Amsterdam [etc.]: Elsevier Inc., William Andrew, 2011
    Collection Электронные книги зарубежных издательств; Общая коллекция
    Subjects Микроэлектроника; Пленки тонкие — Получение; Дисплеи
    UDC 539.23; 004.353; 621.38
    Document type Other
    File type Other
    Language English
    Rights Доступ из локальной сети ФБ СПбПУ (чтение, печать, копирование)

Creators

...

Scientific adviser

...

Publication year

...

Digital publication year

...

Publisher

...

Collection

...

Subjects

...

Document type

...

Language

...

Access

...

Level of education

...

Speciality code (FGOS)

...

Speciality code (OKSO)

...

Speciality code (OKSVNK)

...

Speciality group (FGOS)

...

Speciality group (OKSO)

...

Speciality group (OKSVNK)

...

Journal/newspaper

...