Electronic Documents Search

Documents found: 3

1

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: учебное пособие. — 3-е изд.

Creators	Галперин В. А.; Данилкин Е. В.; Мочалов А. И.
Imprint	Москва: Лаборатория знаний, 2015
Collection	ЭБС "Айбукс.ру/ibooks.ru"; Общая коллекция
Subjects	Травление металлов; Микроэлектроника
UDC	621.794.4(075.8); 621.38.049.77(075.8)
Document type	Tutorial
File type	Other
Language	Russian
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://ibooks.ru/reading.php?short=1&productid=335339

Моделирование 3D наносхемотехники. — 2-е изд.

Creators	Трубочкина Н. К.
Imprint	Москва: Лаборатория знаний, 2015
Collection	ЭБС "Айбукс.ру/ibooks.ru"; Общая коллекция
Subjects	Вычислительные системы; Микроэлектроника
UDC	004.7; 621.38.049.77
Document type	Other
File type	Other
Language	Russian
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://ibooks.ru/reading.php?short=1&productid=350110

Техническая механика микросистем. — 4-е изд.

Creators	Тимофеев В. Н.; Погалов А. И.; Угольников С. В.; Андрианов А. М.; Панкратов О. В.
Imprint	Москва: Лаборатория знаний, 2015
Collection	ЭБС "Айбукс.ру/ibooks.ru"; Общая коллекция
Subjects	Микроэлектроника; Механика
UDC	621.38.049.77; 531
Document type	Tutorial
File type	Other
Language	Russian
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://ibooks.ru/reading.php?short=1&productid=350089

1