Electronic Documents Search

Documents found: 1

1

Применение метода ионно-лучевого травления в производстве изделий микросистемотехники: выпускная квалификационная работа бакалавра: направление 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» ; образовательная программа 28.03.01_01 «Технологии наноматериалов и изделий микросистемной техники»

Creators	Каримов Артур Тагирович
Scientific adviser	Шахмин Александр Львович
Other creators	Филатов Леонид Анатольевич
Organization	Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта
Imprint	Санкт-Петербург, 2023
Collection	Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects	ионно-лучевое травление; дисперсионно-акустическая линия задержки; амплитудно-частотная характеристика; ионный источник; ion-beam etching; dispersive-acoustic delay line; amplitude-frequency characteristic; ion source
Document type	Bachelor graduation qualification work
File type	PDF
Language	Russian
Level of education	Bachelor
Speciality code (FGOS)	28.03.01
Speciality group (FGOS)	280000 - Нанотехнологии и наноматериалы
DOI	10.18720/SPBPU/3/2023/vr/vr23-4359
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

pdf, 1.9 Mb

1