Electronic Documents Search

Documents found: 1

  • Технология материалов электронной техники. Процессы химического осаждения из газовой фазы: учебное пособие

    Creators Александров Сергей Евгеньевич
    Organization Санкт-Петербургский государственный политехнический университет
    Imprint Санкт-Петербург: Изд-во Политехн. ун-та, 2005
    Electronic publication Санкт-Петербург, 2021
    Collection Учебная и учебно-методическая литература; Общая коллекция
    Subjects Осаждение (хим.)
    UDC 621.382(075.8)
    Document type Tutorial
    File type PDF
    Language Russian
    Speciality code (FGOS) 04.00.00
    Speciality group (FGOS) 040000 - Химия
    DOI 10.18720/SPBPU/2/si21-994
    Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

Creators

...

Scientific adviser

...

Publication year

...

Digital publication year

...

Publisher

...

Collection

...

Subjects

...

Document type

...

Language

...

Access

...

Level of education

...

Speciality code (FGOS)

...

Speciality code (OKSO)

...

Speciality code (OKSVNK)

...

Speciality group (FGOS)

...

Speciality group (OKSO)

...

Speciality group (OKSVNK)

...

Journal/newspaper

...