Electronic Documents Search

Documents found: 1

  • Физико-химические основы технологии полупроводников. Пучковые и плазменные процессы в планарной технологии: учебное пособие

    Creators Бобыль Александр Васильевич; Карманенко Сергей Федорович
    Organization Санкт-Петербургский государственный политехнический университет
    Imprint Санкт-Петербург: Изд-во Политехн. ун-та, 2005
    Electronic publication Санкт-Петербург, 2021
    Collection Учебная и учебно-методическая литература; Общая коллекция
    Subjects Полупроводники — Производство; Ионы — Пучки; Плазмохимия
    UDC 621.382(075.8)
    Document type Tutorial
    File type PDF
    Language Russian
    Speciality code (FGOS) 16.00.00
    Speciality group (FGOS) 160000 - Физико-технические науки и технологии
    DOI 10.18720/SPBPU/2/si21-107
    Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

Creators

...

Scientific adviser

...

Publication year

...

Digital publication year

...

Publisher

...

Collection

...

Subjects

...

Document type

...

Language

...

Access

...

Level of education

...

Speciality code (FGOS)

...

Speciality code (OKSO)

...

Speciality code (OKSVNK)

...

Speciality group (FGOS)

...

Speciality group (OKSO)

...

Speciality group (OKSVNK)

...

Journal/newspaper

...