Electronic Documents Search

Documents found: 1

Creators	Бобыль Александр Васильевич; Карманенко Сергей Федорович
Organization	Санкт-Петербургский государственный политехнический университет
Imprint	Санкт-Петербург: Изд-во Политехн. ун-та, 2005
Electronic publication	Санкт-Петербург, 2021
Collection	Учебная и учебно-методическая литература; Общая коллекция
Subjects	Полупроводники — Производство; Ионы — Пучки; Плазмохимия
UDC	621.382(075.8)
Document type	Tutorial
File type	PDF
Language	Russian
Speciality code (FGOS)	16.00.00
Speciality group (FGOS)	160000 - Физико-технические науки и технологии
DOI	10.18720/SPBPU/2/si21-107
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

pdf, 5.8 Mb