Electronic Documents Search
Documents found: 1
-
Creators Бобыль Александр Васильевич; Карманенко Сергей Федорович Organization Санкт-Петербургский государственный политехнический университет Imprint Санкт-Петербург: Изд-во Политехн. ун-та, 2005 Electronic publication Санкт-Петербург, 2021 Collection Учебная и учебно-методическая литература; Общая коллекция Subjects Полупроводники — Производство; Ионы — Пучки; Плазмохимия UDC 621.382(075.8) Document type Tutorial File type PDF Language Russian Speciality code (FGOS) 16.00.00 Speciality group (FGOS) 160000 - Физико-технические науки и технологии DOI 10.18720/SPBPU/2/si21-107 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 5.8 Mb