Electronic Documents Search
Documents found: 2
-
Creators Барсуков Юрий Владимирович Scientific adviser Смирнов Александр Сергеевич Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого Imprint Санкт-Петербург, 2022 Electronic publication Санкт-Петербург Collection Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция Subjects Плазма (физ.); Кремний, нитриды; Травление металлов; травление; нанотрубки; оксид кремния; фтороводород UDC 533.9; 546.28'171.1; 621.794.4 Document type Author's Abstract File type PDF Language Russian Speciality code (OKSVNK) 01.04.08 Speciality group (OKSVNK) 010000 - Физико-математические науки DOI 10.18720/SPBPU/2/r22-21 Rights Свободный доступ из сети Интернет (чтение) pdf, 1.0 Mb -
Creators Барсуков Юрий Владимирович Scientific adviser Смирнов Александр Сергеевич Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого Imprint Санкт-Петербург, 2022 Electronic publication Санкт-Петербург Collection Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция Subjects Плазма (физ.); Кремний, нитриды; Травление металлов; травление; нанотрубки; оксид кремния; фтороводород UDC 533.9; 546.28'171.1; 621.794.4 Document type Author's Abstract File type PDF Language Russian Speciality code (OKSVNK) 01.04.08 Speciality group (OKSVNK) 010000 - Физико-математические науки DOI 10.18720/SPBPU/2/r22-21 Rights Свободный доступ из сети Интернет (чтение) pdf, 1.0 Mb
