Electronic Documents Search
Documents found: 2
-
Creators Осипов Артём Арменакович Scientific adviser Александров Сергей Евгеньевич Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого Imprint Санкт-Петербург, 2018 Collection Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция Subjects Плазменная обработка; Кварц; Кремний, карбиды; Ниобий, окислы; Литий UDC 621.794.6 Document type Scientific report File type PDF Language Russian Level of education Graduate student Speciality code (FGOS) 11.06.01 Speciality group (FGOS) 110000 - Электроника, радиотехника и системы связи DOI 10.18720/SPBPU/2/va19-2 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 2.2 Mb -
Creators Осипов Артем Арменакович Scientific adviser Александров Сергей Евгеньевич Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого Imprint Санкт-Петербург, 2019 Collection Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция Subjects Плазменная обработка; Кварц; Кремний, карбиды; Ниобий, окислы; Литий UDC 621.794.6(043.3) Document type Author's Abstract File type PDF Language Russian DOI 10.18720/SPBPU/2/r19-16 Rights Доступ из локальной сети ФБ СПбПУ (чтение) pdf, 1.5 Mb
