Electronic Documents Search

Documents found: 1

1

Моделирование установки плазмоактивированного атомно-слоевого осаждения с источником поверхностной волновой плазмы: выпускная квалификационная работа бакалавра: направление 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» ; образовательная программа 28.03.01_01 «Технологии материалов и изделий микросистемной техники»

Creators	Рогачев Кирилл Алексеевич
Scientific adviser	Афанасьева Елена Владимировна
Other creators	Филатов Леонид Анатольевич
Organization	Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта
Imprint	Санкт-Петербург, 2020
Collection	Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects	плазма; поверхностные волны; атомно-слоевое осаждение (асо); тонкие плёнки; 3d-моделирование; компьютерное моделирование; plasma; surface waves; atomic layer deposition (ald); thin films; 3d-modeling; computer modeling
Document type	Bachelor graduation qualification work
File type	PDF
Language	Russian
Level of education	Bachelor
Speciality code (FGOS)	28.03.01
Speciality group (FGOS)	280000 - Нанотехнологии и наноматериалы
Links	http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-1680-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-1680-a.pdf
DOI	10.18720/SPBPU/3/2020/vr/vr20-1680
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

pdf, 1.9 Mb

1