Electronic Documents Search

Documents found: 1

Creators	Янкевич Глеб Андреевич
Scientific adviser	Александров Сергей Евгеньевич
Organization	Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт металлургии, машиностроения и транспорта
Imprint	Санкт-Петербург, 2016
Collection	Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects	Газовый разряд; Плазменная обработка; Плазма (физ.) — Применение; монокристаллический кварц; плазмохимическое травление; monocrystalline quartz; plasma-chemical etching
UDC	533.924:679.857.028.2(043.3)
Document type	Master graduation qualification work
File type	PDF
Language	Russian
Level of education	Master
Speciality code (FGOS)	22.04.01
Speciality group (FGOS)	220000 - Технологии материалов
DOI	10.18720/SPBPU/2/v16-3043
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

pdf, 1.7 Mb