Electronic Documents Search

Documents found: 1

1

Особенности контроля трехмерного профиля элементов и структур наноразмерных ИС.: обзор // Известия высших учебных заведений. Электроника: научно-технический журнал. – 2023. – Т. 28, № 3. — С. 298-325

Creators	Нелюбин И. В.; Путря М. Г.
Imprint	2023
Collection	Общая коллекция
Subjects	Радиоэлектроника; Полупроводниковые приборы; Физика; Физика твердого тела. Кристаллография в целом; обзоры; интегральные схемы; микросхемы; наноразмерные ИС; структура наноразмерных ИС; трехмерный профиль элементов; контроль профиля элементов; reviews; integrated circuits; chips; nanoscale ICS; structure of nanoscale ICS; three-dimensional profile of elements; element profile control
UDC	621.382; 539.2
LBC	32.852; 22.37
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.24151/1561-5405-2023-28-3-298-325
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://www.elibrary.ru/item.asp?id=54011392

1