Electronic Documents Search

Documents found: 12

Получение абсолютно калиброванных спектров излучения плотной Xe плазмы в EUV-диапазоне: бакалаврская работа: 03.03.02

Creators	Буторин Павел Сергеевич
Scientific adviser	Смирнов Александр Сергеевич
Organization	Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций
Imprint	Санкт-Петербург, 2017
Collection	Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects	Лазерная плазма; Лазерное излучение; Ксенон; EUV литография; спектры излучения; Брэгговские зеркала
Document type	Bachelor graduation qualification work
File type	PDF
Language	Russian
Level of education	Bachelor
Speciality code (FGOS)	03.03.02
Speciality group (FGOS)	030000 - Физика и астрономия
DOI	10.18720/SPBPU/2/v17-2543
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

pdf, 1.4 Mb

Оптимизация условий возбуждения ксеноновой лазерной плазмы в источнике экстремального ультрафиолетового излучения для нанолитографии с целью повышения его эффективности // Оптический журнал: научно-технический журнал. – 2024. – № 5. — С. 95-104

Creators	Буторин П. С.; Калмыков С. Г.
Organization	"Невская фотоника - 2023", всероссийская научная конференция с международным участием
Imprint	2024
Collection	Общая коллекция
Subjects	Физика; Физическая оптика; Ультрафиолетовые лучи; лазерная плазма; ксеноновая лазерная плазма; возбуждение плазмы; ультрафиолетовое излучение; нанолитография; экстремальный ультрафиолет; лазерные пробои; laser plasma; xenon laser plasma; plasma excitation; ultraviolet radiation; nanolithography; extreme ultraviolet; laser breakouts
UDC	535.2/3; 535-31
LBC	22.343; 22.347
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.17586/1023-5086-2024-91-05-95-104
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://eivis.ru/browse/issue/13699102/viewer?udb=12&page=97

Ксеноновая лазерная плазма как источник излучения для литографии на длинах волн вблизи 11 нм // Оптический журнал: научно-технический журнал. – 2024. – № 6. — С. 47-61

Creators	Калмыков С. Г.; Буторин П. С.
Imprint	2024
Collection	Общая коллекция
Subjects	Физика; Электронные и ионные явления. Физика плазмы; Физическая оптика; лазерная плазма; ксеноновая плазма; источники излучения; литография; газоструйные мишени; лазерные импульсы; брэгговская спектрометрия; laser plasma; xenon plasma; radiation sources; lithography; gas jet targets; laser pulses; bragg spectrometry
UDC	533.9; 535.2/3
LBC	22.333; 22.343
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.17586/1023-5086-2024-91-06-47-61
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://eivis.ru/browse/issue/13873662/viewer?udb=12&page=49

Нелинейное рассеяние короткого интенсивного лазерного импульса протяженными мишенями субмикронного размера // Оптика и спектроскопия. – 2024. – Т. 132, № 12. — С. 1280-1289

Creators	Aндреев А. А.; Литвинов Л. А.; Платонов К. Ю.
Imprint	2024
Collection	Общая коллекция
Subjects	Физика; Физическая оптика; лазерные импульсы; интенсивные лазерные импульсы; короткие лазерные импульсы; рассеяние лазерных импульсов; нелинейное рассеяние импульсов; мишени субмикронного размера; протяженные мишени (физика); лазерная плазма; униполярные импульсы
UDC	535.2/3
LBC	22.343
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.61011/OS.2024.12.59807.6318-24
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://elibrary.ru/item.asp?id=80348298

Оптимизация Xe лазерно - плазменного источника EUV излучения для литографии. Новый метод подавления периферического поглощения: выпускная квалификационная работа магистра: 03.04.02 - Физика ; 03.04.02_05 - Физика плазмы

Creators	Буторин Павел Сергеевич
Scientific adviser	Сергеев Владимир Юрьевич
Organization	Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций
Imprint	Санкт-Петербург, 2019
Collection	Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects	Лазерная плазма; Фотолитография; EUV литография; периферическое поглощение; брэгговские зеркала; спектр излучения Xe; конверсионный коэффициент
UDC	533.9:621.373.826; 776
Document type	Master graduation qualification work
File type	PDF
Language	Russian
Level of education	Master
Speciality code (FGOS)	03.04.02
Speciality group (FGOS)	030000 - Физика и астрономия
Links	http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-3839-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-3839-r.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-3839-a.pdf
DOI	10.18720/SPBPU/3/2019/vr/vr19-3839
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

pdf, 2.6 Mb

Усиление коротковолновых субаттоимпульсов в лазере нa свободных электронах при помощи электронов, ускоренных в лазерной плазме // Оптика и спектроскопия. – 2023. – Т. 131, № 2. — С. 183-185

Creators	Андреев А. А.; Литвинов Л. А.; Платонов К. Ю.
Organization	"Сверхбыстрые оптические явления", международная конференция
Imprint	2023
Collection	Общая коллекция
Subjects	Физика; Физическая оптика; лазеры нa свободных электронах; субаттоимпульсы; усиление коротковолновых субаттоимпульсов; электроны; ускоренные электроны; лазерная плазма; численное моделирование
UDC	535.2/3
LBC	22.343
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.21883/OS.2023.02.55002.14-23
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://elibrary.ru/item.asp?id=53750399

Безрезонаторная генерация на ионах молекулярного азота в воздушной лазерной плазме // Оптика и спектроскопия. – 2022. – Т. 130, № 4. — С. 511-516

Creators	Зятиков И. А.; Лосев В. Ф.
Organization	"Сверхбыстрые оптические явления", Международная научно-техническая конференция
Imprint	2022
Collection	Общая коллекция
Subjects	Физика; Электронные и ионные явления. Физика плазмы; молекулярный азот; ионы молекулярного азота; безрезонаторная генерация; лазерная плазма; воздушная лазерная плазма; спектральные характеристики; лазерные импульсы
UDC	533.9
LBC	22.333
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.21883/OS.2022.04.52264.63-21
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://www.elibrary.ru/item.asp?id=48287088

Моделирование рентгеновского излучения субпикосекундного лазерно-плазменного рентгеновского источника // Оптика и спектроскопия. – 2022. – Т. 130, № 4. — С. 499-506

Creators	Седов М. В.; Рязанцев С. Н.; Пикуз С. А.
Organization	"Сверхбыстрые оптические явления", Международная научно-техническая конференция
Imprint	2022
Collection	Общая коллекция
Subjects	Физика; Физическая оптика; рентгеновское излучение; моделирование рентгеновского излучения; рентгеновские источники; лазерно-плазменные источники; субпикосекундные источники; лазерная плазма; петаваттные лазеры
UDC	535.2/3
LBC	22.343
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.21883/OS.2022.04.52262.59-21
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://www.elibrary.ru/item.asp?id=48287086

Эффективная генерация аттоимпульсов при взаимодействии интенсивного лазерного излучения со сверхтонкими мишенями // Оптика и спектроскопия. – 2022. – Т. 130, № 6. — С. 943-956

Creators	Андреев А. А.; Платонов К. Ю.
Imprint	2022
Collection	Общая коллекция
Subjects	Физика; Физическая оптика; аттоимпульсы; генерация аттоимпульсов; лазерное излучение; сверхтонкие мишени; сверхмощные лазерные импульсы; лазерные импульсы; лазерная плазма
UDC	535.2/3
LBC	22.343
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.21883/OS.2022.06.52638.2231-21
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://www.elibrary.ru/item.asp?id=49347636

Рентгенография характеристическим излучением лазерной плазмы неодномерно сжимающейся ЛТС-мишени // Оптика и спектроскопия. – 2022. – Т. 130, № 6. — С. 958-968

Creators	Андреев А. А.; Беспалов Д. С.; Платонов К. Ю.; Седов М. В.
Imprint	2022
Collection	Общая коллекция
Subjects	Физика; Физическая оптика; лазерная плазма; излучение лазерной плазмы; характеристическое излучение; рентгенография; пикосекундная лазерная плазма; сжимающиеся ЛТС-мишени; неодномерно сжимающиеся ЛТС-мишени
UDC	535.2/3
LBC	22.343
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.21883/OS.2022.06.52640.3350-21
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://www.elibrary.ru/item.asp?id=49347637