Electronic Documents Search
Documents found: 12
-
Creators Буторин П. С.; Калмыков С. Г.; Белашов А. В.; Сасин М. Э.; Сердобинцев П. Ю. Imprint 2023 Collection Общая коллекция Subjects Физика; Электронные и ионные явления. Физика плазмы; лазерная плазма; диагностика лазерной плазмы; лазерное излучение; лазеры; поглощение излучения; инфракрасное излучение; лазерные искры; диагностика лазерных искр UDC 533.9 LBC 22.333 Document type Article, report File type Other Language Russian DOI 10.61011/OS.2023.12.57404.5493-23 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) https://elibrary.ru/item.asp?id=65116356 -
Creators Максимов Владислав Алексеевич Scientific adviser Капралов Владимир Геннадьевич Other creators Веселова Ирина Юрьевна Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций Imprint Санкт-Петербург, 2020 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects EUV литография; лазерная плазма; EUV излучение; поглощение излучения; диаметр луча в прифокальной области; геометрические параметры лазерного луча; EUV lithography; laser plasma; EUV radiation; absorption of radiation; beam diameter in the near-focal region; geometric parameters of the laser beam Document type Master graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Master Speciality code (FGOS) 03.04.02 Speciality group (FGOS) 030000 - Физика и астрономия Links http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-3366-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-3366-r.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-3366-a.pdf DOI 10.18720/SPBPU/3/2020/vr/vr20-3366 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 1.9 Mb
