Electronic Documents Search
Documents found: 3
-
Introductory MEMS : fabrication and applications
Creators Adams Thomas M.; Layton Richard A. Imprint Boston, MA: Springer, 2010 Collection Электронные книги зарубежных издательств; Общая коллекция Subjects Микроэлектронные схемы интегральные — Производство; Датчики; Полупроводники; sensors; integrated circuit; mechanics; semiconductors; microelectromechanical system (MEMS) UDC 621.382.049.77; 681.586; 537.311.322 Document type Other File type Other Language English Rights Доступ из локальной сети ФБ СПбПУ (чтение, печать, копирование) https://link.springer.com/book/10.1007/978-0-387-09511-0 -
Creators Эннс Яков Борисович Scientific adviser Пятышев Евгений Нилович Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого Imprint Санкт-Петербург, 2019 Collection Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция Subjects Пленки тонкие; Микроэлектронные схемы интегральные — Производство; Микроэлектронная аппаратура; Упругие системы — Устойчивость; Колебания; микросистемная техника UDC 531.36(043.3); 539.216.2(043.3) Document type Author's Abstract File type PDF Language Russian DOI 10.18720/SPBPU/2/r19-20 Rights Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 0.9 Mb -
Creators Эннс Яков Борисович Scientific adviser Пятышев Евгений Нилович Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого Imprint Санкт-Петербург, 2018 Collection Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция Subjects Пленки тонкие; Микроэлектронные схемы интегральные — Производство; Микроэлектронная аппаратура; Упругие системы — Устойчивость; Колебания; микросистемная техника UDC 531.36; 539.216.2 Document type Scientific report File type PDF Language Russian Level of education Graduate student Speciality code (FGOS) 11.06.01 Speciality group (FGOS) 110000 - Электроника, радиотехника и системы связи DOI 10.18720/SPBPU/2/va19-5 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 3.0 Mb
