Electronic Documents Search
Documents found: 1
-
Creators Барсуков Юрий Владимирович Scientific adviser Смирнов Александр Сергеевич Other creators Краснова Надежда Константиновна Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт электроники и телекоммуникаций Imprint Санкт-Петербург, 2021 Collection Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция Subjects Плазма (физ.); Газовый разряд; Квантовая химия; Моделирование; Травление металлов; Кремний, нитриды UDC 533.9; 537.52; 544.16; 621.794.4; 546.28'171.1 Document type Scientific report File type Other Language Russian Level of education Graduate student Speciality code (FGOS) 03.06.01 Speciality group (FGOS) 030000 - Физика и астрономия Rights Текст не доступен в соответствии с распоряжением СПбПУ от 11.04.2018 № 141
