Electronic Documents Search

Documents found: 31

1
2
3
4

Исследование влияния плазменной обработки на свойства сформированных химическим осаждением из газовой фазы тонких пленок нитрида титана // Известия высших учебных заведений. Электроника: научно-технический журнал. – 2022. – Т. 27, № 6. — С. 715-722

Creators	Горностай-Польский В. С.; Шевяков В. И.
Imprint	2022
Collection	Общая коллекция
Subjects	Радиоэлектроника; Полупроводниковые приборы; нитрид титана; МДП-структуры; пленки нитрида титана; газовые фазы; химическое осаждение; свойства пленок нитрида титана; плазменная обработка; titanium nitride; TIR structures; titanium nitride films; gas phases; chemical deposition; properties of titanium nitride films; plasma treatment
UDC	621.382
LBC	32.852
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.24151/1561-5405-2022-27-6-715-722
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://elibrary.ru/item.asp?id=49993425

1
2
3
4