Electronic Documents Search
Documents found: 9
-
Creators Волков Андрей Николаевич; Дьяченко Владимир Алексеевич; Клюкин Валерий Юрьевич Organization Санкт-Петербургский государственный технический университет Imprint Санкт-Петербург: Изд-во СПбГТУ, 1996 Electronic publication Санкт-Петербург, 2020 Collection Учебная и учебно-методическая литература; Общая коллекция Subjects Вакуумная техника UDC 621.52(075.8) Document type Tutorial File type PDF Language Russian Speciality code (FGOS) 15.00.00 Speciality group (FGOS) 150000 - Машиностроение DOI 10.18720/SPBPU/2/si20-1548 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 2.4 Mb -
Вакуумная техника для производства микро- и наноэлектроники: учебное пособие
Creators Мишин Максим Валерьевич; Архипов Александр Викторович; Габдуллин Павел Гарифович; Квашенкина Ольга Евгеньевна Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого Imprint Санкт-Петербург: ПОЛИТЕХ-ПРЕСС, 2019 Collection Учебная и учебно-методическая литература; Общая коллекция Subjects Вакуумная техника; Микроэлектроника; Наноструктурные материалы; наноэлектроника; учебники и пособия для вузов UDC 621.52(075.8) Document type Tutorial File type PDF Language Russian DOI 10.18720/SPBPU/2/i19-225 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать) pdf, 8.1 Mb -
Вакуумная техника: учебное пособие
Creators Лебедев Александр Анатольевич; Кожухов Юрий Владимирович; Данилишин Алексей Михайлович; Гилева Любовь Васильевна; Лебедева Светлана Михайловна; Прокофьев Алексей Юрьевич; Тузова Надежда Михайловна Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого Imprint Санкт-Петербург: ПОЛИТЕХ-ПРЕСС, 2020 Collection Учебная и учебно-методическая литература; Общая коллекция Subjects Вакуумная техника; Насосы криогенные UDC 621.52(075.8) Document type Tutorial File type PDF Language Russian Speciality code (FGOS) 13.04.03 Speciality group (FGOS) 130000 - Электро- и теплоэнергетика DOI 10.18720/SPBPU/5/tr20-77 Rights Свободный доступ из сети Интернет (чтение) pdf, 1.1 Mb -
Вакуумная техника: конспект лекций. Ч. 1
Creators Розанов Леонид Николаевич Organization Ленинградский политехнический институт им. М. И. Калинина Imprint Ленинград: [ЛПИ], 1971 Electronic publication Санкт-Петербург, 2021 Collection Учебная и учебно-методическая литература; Общая коллекция Subjects Вакуумная техника UDC 621.52(075.8) Document type Tutorial File type PDF Language Russian Speciality code (FGOS) 15.00.00 Speciality group (FGOS) 150000 - Машиностроение DOI 10.18720/SPBPU/2/si21-524 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 10.0 Mb -
Creators Атемасов Лев Валентинович Scientific adviser Фролов Владимир Яковлевич Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт энергетики и транспортных систем Imprint Санкт-Петербург, 2017 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects Вакуумная техника; Пленки кремниевые; Солнечные батареи; Ионные источники плазменные; Плазма (физ.) низкотемпературная; магнетронные распылительные системы UDC 621.383.51(043.3); 533.599(043.3); 621.793.74(043.3) Document type Master graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Master Speciality code (FGOS) 13.04.02 Speciality group (FGOS) 130000 - Электро- и теплоэнергетика DOI 10.18720/SPBPU/2/v17-2029 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 2.7 Mb -
Creators Архипов Александр Викторович; Мишин Максим Валерьевич; Филимонов Алексей Владимирович Organization Санкт-Петербургский государственный политехнический университет Imprint Санкт-Петербург: Изд-во Политехн. ун-та, 2007 Electronic publication Санкт-Петербург, 2021 Collection Учебная и учебно-методическая литература; Общая коллекция Subjects Вакуумная техника; Криогенная техника UDC 533.5(075.8); 536.483(075.8) Document type Tutorial File type PDF Language Russian Speciality code (FGOS) 03.00.00 Speciality group (FGOS) 030000 - Физика и астрономия DOI 10.18720/SPBPU/2/si21-922 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 9.6 Mb -
Creators Абросимов Даниил Евгеньевич Scientific adviser Розанов Леонид Николаевич Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт металлургии, машиностроения и транспорта Imprint Санкт-Петербург, 2018 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects Вакуумная техника; Масс-спектрометры; Течеискатели; герметичность UDC 621.52 Document type Master graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Master Speciality code (FGOS) 27.04.02 Speciality group (FGOS) 270000 - Управление в технических системах Links http://elib.spbstu.ru/dl/2/rev/v18-4607-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/2/rev/v18-4607-r.pdf DOI 10.18720/SPBPU/2/v18-4607 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 2.5 Mb -
Creators Лукша Олег Игоревич Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт электроники и телекоммуникаций Imprint Санкт-Петербург: ПОЛИТЕХ-ПРЕСС, 2022 Collection Учебная и учебно-методическая литература; Общая коллекция Subjects Электронные приборы сверхвысокочастотные; Вакуумная техника UDC 621.385.6(075.8); 621.52(075.8) Document type Tutorial File type PDF Language Russian Speciality code (FGOS) 16.03.01 Speciality group (FGOS) 160000 - Физико-технические науки и технологии DOI 10.18720/SPBPU/2/id22-7 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать) pdf, 29 Mb -
Creators Янкевич Глеб Андреевич Scientific adviser Мишин Максим Валерьевич Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта Imprint Санкт-Петербург, 2020 Collection Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция Subjects Наноструктурные материалы; кластеры; вакуумная техника; наночастицы; магнитные свойства UDC 669:620.22-022.53 Document type Scientific report File type PDF Language Russian Level of education Graduate student Speciality code (FGOS) 28.06.01 Speciality group (FGOS) 280000 - Нанотехнологии и наноматериалы DOI 10.18720/SPBPU/6/2020/vn20-48 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)
