Electronic Documents Search

Documents found: 2

1

Introductory MEMS : fabrication and applications

Creators	Adams Thomas M.; Layton Richard A.
Imprint	Boston, MA: Springer, 2010
Collection	Электронные книги зарубежных издательств; Общая коллекция
Subjects	Микроэлектронные схемы интегральные — Производство; Датчики; Полупроводники; sensors; integrated circuit; mechanics; semiconductors; microelectromechanical system (MEMS)
UDC	621.382.049.77; 681.586; 537.311.322
Document type	Other
File type	Other
Language	English
Rights	Доступ из локальной сети ФБ СПбПУ (чтение, печать, копирование)

https://link.springer.com/book/10.1007/978-0-387-09511-0

Sensors and actuators

Creators	Alegria Francisco André Corrêa
Imprint	Singapore [etc.]: World Scientific, cop. 2022
Collection	Электронные книги зарубежных издательств; Общая коллекция
Subjects	Сервомеханизмы; Датчики; World Scientific Publishing eBooks Collection
UDC	681.58
Document type	Other
File type	Other
Language	English
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать)

key://localhost/RU\SPSTU\edoc\73674

1