Electronic Documents Search

Documents found: 1

Creators	Атемасов Лев Валентинович
Scientific adviser	Фролов Владимир Яковлевич
Organization	Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт энергетики и транспортных систем
Imprint	Санкт-Петербург, 2017
Collection	Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects	Вакуумная техника; Пленки кремниевые; Солнечные батареи; Ионные источники плазменные; Плазма (физ.) низкотемпературная; магнетронные распылительные системы
UDC	621.383.51(043.3); 533.599(043.3); 621.793.74(043.3)
Document type	Master graduation qualification work
File type	PDF
Language	Russian
Level of education	Master
Speciality code (FGOS)	13.04.02
Speciality group (FGOS)	130000 - Электро- и теплоэнергетика
DOI	10.18720/SPBPU/2/v17-2029
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

pdf, 2.7 Mb