Electronic Documents Search
Documents found: 1
-
Creators Дмитриев А. А.; Коршунов Андрей Васильевич Other creators Глухов Владимир Викторович Organization Санкт-Петербургский государственный политехнический университет. Межвузовская научная конференция. Неделя науки (31; 2002; Санкт-Петербург); Совет СПбГПУ по научно-исследовательской работе студентов Imprint СПб., 2004 Collection Общая коллекция Subjects микросистемная техника; микрообъект; фотоситалл; процесс травления Document type Article, report File type PDF Language Russian Rights Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 337 Kb