Electronic Documents Search

Documents found: 2

1

Расчет ключевых параметров плазмы многозарядных ионов при воздействии внешнего лазерного импульса // Научно-технические ведомости Санкт-Петербургского государственного политехнического университета. Сер.: Физико-математические науки. – 2022. – Т. 15, № 4. — С. 44-54

Creators	Тимшина М. В.; Калинин Н. В.
Imprint	2022
Collection	Общая коллекция
Subjects	Физика; Электронные и ионные явления. Физика плазмы; плазма; параметры плазмы; многозарядные ионы; расчет параметров плазмы; лазерные импульсы; внешние лазерные импульсы; радиационно-гидродинамические модели; plasma; plasma parameters; multicharged ions; calculation of plasma parameters; aser pulses; external laser pulses; radiation-hydrodynamic models
UDC	533.9
LBC	22.333
Document type	Article, report
File type	PDF
Language	Russian
DOI	10.18721/JPM.15403
Rights	Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

pdf, 0.7 Mb

Реактивное ионное травление III-нитридов // Материалы...27 ноября - 2 декабря 2000 г. – 2002. – Радиофизический и физико-технический факультеты. — Ч.6

Creators	Рамушина Е. М.; Гуревич С. А.
Other creators	Глухов Владимир Викторович
Organization	Санкт-Петербургский государственный технический университет. Межвузовская научная конференция, Неделя науки (29; 2000; Санкт-Петербург); Физико-технический факультет; Совет СПбГТУ по научно-исследовательской работе студентов
Imprint	СПб., 2002
Collection	Общая коллекция
Subjects	реактивное травление; ионное травление; III-нитриды; плазменное травление; наклонный профиль; химические реагенты; маски; параметры плазмы
UDC	662.642:621.926.7
Document type	Article, report
File type	PDF
Language	Russian
Rights	Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

pdf, 74 Kb

1