Electronic Documents Search

Documents found: 1

Creators	Моор Светлана Юрьевна
Scientific adviser	Демидов Александр Иванович
Organization	Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт металлургии, машиностроения и транспорта
Imprint	Санкт-Петербург, 2017
Collection	Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects	Плазменная обработка; Газовый разряд высокочастотный; плазмохимическое травление; технологические параметры; плазмохимическая полировка
UDC	621.794.6(043.3)
Document type	Master graduation qualification work
File type	PDF
Language	Russian
Level of education	Master
Speciality code (FGOS)	22.04.01
Speciality group (FGOS)	220000 - Технологии материалов
DOI	10.18720/SPBPU/2/v17-3425
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

pdf, 2.9 Mb