Electronic Documents Search

Documents found: 1

1

Применение технологии магнетронного распыления для нанесения функциональных слоев: выпускная квалификационная работа бакалавра: направление 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» ; образовательная программа 28.03.01_01 «Технологии наноматериалов и изделий микросистемной техники»

Creators	Васильчук Дмитрий Дмитриевич
Scientific adviser	Афанасьева Елена Владимировна
Organization	Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта
Imprint	Санкт-Петербург, 2023
Collection	Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects	катодное распыление; магнетронное распыление; пъезоэффект; функциональный слой; нитрид аллюминия; резонатор на объемных акустических волнах; линия задержки; cathode sputtering; magnetron sputtering; piezoeffect; functional layer; aluminum nitride; acoustic bulk wave resonator; delay line
Document type	Bachelor graduation qualification work
File type	PDF
Language	Russian
Level of education	Bachelor
Speciality code (FGOS)	28.03.01
Speciality group (FGOS)	280000 - Нанотехнологии и наноматериалы
DOI	10.18720/SPBPU/3/2023/vr/vr23-4334
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать)

pdf, 1.4 Mb

1