Electronic Documents Search

Documents found: 1

Creators	Рамушина Е. М.; Гуревич С. А.
Other creators	Глухов Владимир Викторович
Organization	Санкт-Петербургский государственный технический университет. Межвузовская научная конференция, Неделя науки (29; 2000; Санкт-Петербург); Физико-технический факультет; Совет СПбГТУ по научно-исследовательской работе студентов
Imprint	СПб., 2002
Collection	Общая коллекция
Subjects	реактивное травление; ионное травление; III-нитриды; плазменное травление; наклонный профиль; химические реагенты; маски; параметры плазмы
UDC	662.642:621.926.7
Document type	Article, report
File type	PDF
Language	Russian
Rights	Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

pdf, 74 Kb