Electronic Documents Search

Documents found: 1

1

Исследование влияния технологических процессов на изготовление и характеристики мембранного датчика давления компенсационного типа: выпускная квалификационная работа магистра: направление 22.04.01 «Материаловедение и технологии материалов» ; образовательная программа 22.04.01_01 «Материаловедение наноматериалов и компонентов электронной техники»

Creators	Терентьева Алёна Станиславовна
Scientific adviser	Шахмин Александр Львович
Other creators	Филатов Леонид Анатольевич
Organization	Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта
Imprint	Санкт-Петербург, 2020
Collection	Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects	Мембранные приборы; Мембраны; Датчики давления; Наноструктурные материалы; микроэлектромеханические системы; технологии МЭМС; MEMS; MEMS-technology
UDC	681.586'326; 681.121.845; 620.22-022.53
Document type	Master graduation qualification work
File type	PDF
Language	Russian
Level of education	Master
Speciality code (FGOS)	22.04.01
Speciality group (FGOS)	220000 - Технологии материалов
Links	http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-1910-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-1910-r.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-1910-a.pdf
DOI	10.18720/SPBPU/3/2020/vr/vr20-1910
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

pdf, 1.9 Mb

1