Electronic Documents Search
Documents found: 13
-
Creators Юдакова Анна Александровна Scientific adviser Соловьев Юрий Владимирович Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт металлургии, машиностроения и транспорта Imprint Санкт-Петербург, 2017 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects Полупроводниковые приборы сверхвысокочастотные; Фотолитография; маски фоторезистивных слоев; транзисторы UDC 621.383.4(043.3); 776(043.3) Document type Master graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Master Speciality code (FGOS) 22.04.01 Speciality group (FGOS) 220000 - Технологии материалов DOI 10.18720/SPBPU/2/v17-3427 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 1.8 Mb -
Creators Мягков Д. В.; Портной Е. Л. Other creators Глухов Владимир Викторович Organization Санкт-Петербургский государственный политехнический университет. Межвузовская научная конференция. Неделя науки (31; 2002; Санкт-Петербург); СПбГПУ. Физико-технический факультет; Совет СПбГПУ по научно-исследовательской работе студентов Imprint СПб., 2004 Collection Общая коллекция Subjects фотолитография; фоторезисторы; интегральная оптика; полупроводниковые лазеры Document type Article, report File type PDF Language Russian Rights Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 86 Kb -
Creators Серебренникова О. Ю.; Саморуков Б. Е.; Ильинская Н. Д.; Усикова А. А. Other creators Рудской Андрей Иванович; Арсеньев Д. Г.; Глухов Владимир Викторович Organization Санкт-Петербургский государственный политехнический университет; Совет СПбГПУ по научно-исследовательской работе студентов Imprint СПб.: Изд-во СПбГПУ, 2009 Collection Общая коллекция Subjects литография; микроэлектроника; фотолитография Document type Article, report File type PDF Language Russian Rights Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 113 Kb
