Electronic Documents Search

Documents found: 13

1
2

Создание негативного изображения на позитивном фоторезисте // XXXVI неделя науки СПбГПУ: материалы Всероссийской межвуз. науч.-техн. конф. студентов и аспирантов, 26 ноября - 1 декабря 2007 г. Санкт-Петербург. – 2009. – Механико-машиностроительный факультет. Факультет технологии и исследования материалов. — Ч.3

Creators	Серебренникова О. Ю.; Саморуков Б. Е.; Ильинская Н. Д.; Усикова А. А.
Other creators	Рудской Андрей Иванович; Арсеньев Д. Г.; Глухов Владимир Викторович
Organization	Санкт-Петербургский государственный политехнический университет; Совет СПбГПУ по научно-исследовательской работе студентов
Imprint	СПб.: Изд-во СПбГПУ, 2009
Collection	Общая коллекция
Subjects	литография; микроэлектроника; фотолитография
Document type	Article, report
File type	PDF
Language	Russian
Rights	Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

pdf, 113 Kb

Разработка технологии формирования фоторезистивных пленок прецизионной толщины с минимальной шероховатостью поверхности плазмохимическим травлением: автореф. дис. … канд. техн. наук: 05.27.06

Creators	Спешилова Анастасия Борисовна
Scientific adviser	Александров Сергей Евгеньевич
Organization	Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Imprint	Санкт-Петербург, 2019
Collection	Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция
Subjects	Фотолитография; Плазменная обработка; Пленки тонкие — Получение — Применение плазмы; микросистемная техника
UDC	539.216.2(043.3); 621.794.6(043.3)
Document type	Author's Abstract
File type	PDF
Language	Russian
DOI	10.18720/SPBPU/2/r19-17
Rights	Доступ из локальной сети ФБ СПбПУ (чтение)

pdf, 0.7 Mb

Исследование процесса безмасочной литографии: выпускная квалификационная работа бакалавра: направление 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» ; образовательная программа 28.03.01_01 «Технологии материалов и изделий микросистемной техники»

Creators	Архипенко Виктория Алексеевна
Scientific adviser	Осипов Артём Арменакович
Organization	Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта
Imprint	Санкт-Петербург, 2021
Collection	Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects	безмасочная литография; 3D принтер; фоторезист; фотолитография; maskless lithography; 3D printing; photoresist; photolithography
Document type	Bachelor graduation qualification work
File type	PDF
Language	Russian
Level of education	Bachelor
Speciality code (FGOS)	28.03.01
Speciality group (FGOS)	280000 - Нанотехнологии и наноматериалы
Links	http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/rev/vr21-2797-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/rev/vr21-2797-a.pdf
DOI	10.18720/SPBPU/3/2021/vr/vr21-2797
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

pdf, 1.7 Mb

1
2