Electronic Documents Search

Documents found: 2

1

Методика определения коэффициента отражения в скользящем падении при использовании одноканальной схемы измерения // Оптика и спектроскопия. – 2023. – Т. 131, № 8. — С. 1074-1079

Creators	Анциферов П. С.; Дорохин Л. А.; Макарова В. М.
Imprint	2023
Collection	Общая коллекция
Subjects	Физика; Физическая оптика; падающий свет (физика); отражение падающего света; коэффициент отражения; измерение коэффициента отражения; одноканальные схемы; экстремальный ультрафиолет; скользящее падение (физика); капиллярные разряды
UDC	535.2/3
LBC	22.343
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.61011/OS.2023.08.56298.4846-23
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://www.elibrary.ru/item.asp?id=55179354

Оптимизация условий возбуждения ксеноновой лазерной плазмы в источнике экстремального ультрафиолетового излучения для нанолитографии с целью повышения его эффективности // Оптический журнал: научно-технический журнал. – 2024. – № 5. — С. 95-104

Creators	Буторин П. С.; Калмыков С. Г.
Organization	"Невская фотоника - 2023", всероссийская научная конференция с международным участием
Imprint	2024
Collection	Общая коллекция
Subjects	Физика; Физическая оптика; Ультрафиолетовые лучи; лазерная плазма; ксеноновая лазерная плазма; возбуждение плазмы; ультрафиолетовое излучение; нанолитография; экстремальный ультрафиолет; лазерные пробои; laser plasma; xenon laser plasma; plasma excitation; ultraviolet radiation; nanolithography; extreme ultraviolet; laser breakouts
UDC	535.2/3; 535-31
LBC	22.343; 22.347
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.17586/1023-5086-2024-91-05-95-104
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://eivis.ru/browse/issue/13699102/viewer?udb=12&page=97

1