Electronic Documents Search

Documents found: 1

1

Анализ химического состояния элементов структуры TiO2/SiO2, полученных методом АСО, по рентгеновским фотоэлектронным спектрам: выпускная квалификационная работа бакалавра: направление 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» ; образовательная программа 28.03.01_01 «Технологии наноматериалов и изделий микросистемной техники»

Creators	Горшков Егор Владимирович
Scientific adviser	Шахмин Александр Львович
Organization	Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта
Imprint	Санкт-Петербург, 2023
Collection	Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects	оксид титана; оксид кремния; взаимодействие; структура; осаждение тонких плёнок; атомно-слоевое осаждение; формирование атомного слоя; поверхность; химия поверхности; рфс; titanium oxide; silicon oxide; interaction; structure; thin film deposition; atomic layer deposition; atomic layer formation; surface; surface chemistry; xps
Document type	Bachelor graduation qualification work
File type	PDF
Language	Russian
Level of education	Bachelor
Speciality code (FGOS)	28.03.01
Speciality group (FGOS)	280000 - Нанотехнологии и наноматериалы
DOI	10.18720/SPBPU/3/2023/vr/vr23-4341
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

pdf, 1.3 Mb

1