Electronic Documents Search

Documents found: 1

1

Создание маски для заземляющих отверстий с помощью процесса фотолитографии на обратной стороне подложки GaAs с использованием установки MJB4: выпускная квалификационная работа бакалавра: направление 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» ; образовательная программа 28.03.01_01 «Технологии материалов и изделий микросистемной техники»

Creators	Саламатова Ульяна Вячеславовна
Scientific adviser	Михайловский Григорий Александрович
Other creators	Филатов Леонид Анатольевич
Organization	Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта
Imprint	Санкт-Петербург, 2020
Collection	Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects	фотолитография; обратная сторона; установка MJB4; заземляющие отверстия; фоторезист ФП-4-04; photolitography; back side; installation MJB4; via holes; photoresist FP-4-04
Document type	Bachelor graduation qualification work
File type	PDF
Language	Russian
Level of education	Bachelor
Speciality code (FGOS)	28.03.01
Speciality group (FGOS)	280000 - Нанотехнологии и наноматериалы
Links	http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-1436-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-1436-a.pdf
DOI	10.18720/SPBPU/3/2020/vr/vr20-1436
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

pdf, 1.7 Mb

1