Electronic Documents Search

Documents found: 1

Creators	Королев А. Н.; Лукин А. Я.; Филатов Ю. В.; Венедиктов В. Ю.
Organization	Международная конференция по голографии и прикладным оптическим технологиям
Imprint	2024
Collection	Общая коллекция
Subjects	Механика; Измерение механических и геометрических величин; Техника; Метрология; матричная технология измерений; фотошаблоны; контроль фотошаблонов; измерение координат элементов; точность измерения координат; матричные измерители; matrix measurement technology; photomasks; photomask control; element coordinate measurement; coordinate measurement accuracy; matrix meters
UDC	531.7; 389
LBC	22.21; 30.10
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.17586/1023-5086-2024-91-03-115-123
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://eivis.ru/browse/issue/13342662/viewer?udb=12&page=117