Electronic Documents Search

Documents found: 1

1

Создание оптических изолированных микрорезонаторов GaP(NAs) на кремнии // Научно-технические ведомости Санкт-Петербургского государственного политехнического университета. Сер.: Физико-математические науки. – 2024. – Т. 17, № 3. — С. 25-35

Creators	Дворецкая Л. Н.; Можаров А. М.; Комаров С. Д.; Вячеславова Е. А.; Моисеев Э. И.; Федоров В. В.; Мухин И. С.
Imprint	2024
Collection	Общая коллекция
Subjects	Физика; Геометрическая оптика. Оптические приборы; микрорезонаторы; оптические микрорезонаторы; изолированные микрорезонаторы; микрорезонаторы на кремнии; плазмохимическое травление; микрофотолюминесценция; полупроводниковые материалы; microresonators; optical microresonators; insulated microresonators; silicon microresonators; plasma chemical etching; microphotoluminescence; semiconductor materials
UDC	535.31
LBC	22.344
Document type	Article, report
File type	PDF
Language	Russian
DOI	10.18721/JPM.17303
Rights	Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

pdf, 1.6 Mb

1