Electronic Documents Search

Documents found: 3

1

Оптимизация лазерно-плазменного источника EUV излучения для литографии – поглощение лазерной энергии в плазме и гидродинамические эффекты: выпускная квалификационная работа магистра: направление 03.04.02 «Физика» ; образовательная программа 03.04.02_06 «Физика космоса»

Creators	Максимов Владислав Алексеевич
Scientific adviser	Капралов Владимир Геннадьевич
Other creators	Веселова Ирина Юрьевна
Organization	Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций
Imprint	Санкт-Петербург, 2020
Collection	Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects	EUV литография; лазерная плазма; EUV излучение; поглощение излучения; диаметр луча в прифокальной области; геометрические параметры лазерного луча; EUV lithography; laser plasma; EUV radiation; absorption of radiation; beam diameter in the near-focal region; geometric parameters of the laser beam
Document type	Master graduation qualification work
File type	PDF
Language	Russian
Level of education	Master
Speciality code (FGOS)	03.04.02
Speciality group (FGOS)	030000 - Физика и астрономия
Links	http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-3366-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-3366-r.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-3366-a.pdf
DOI	10.18720/SPBPU/3/2020/vr/vr20-3366
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

pdf, 1.9 Mb

Ксеноновая лазерная плазма как источник излучения для литографии на длинах волн вблизи 11 нм // Оптический журнал: научно-технический журнал. – 2024. – № 6. — С. 47-61

Creators	Калмыков С. Г.; Буторин П. С.
Imprint	2024
Collection	Общая коллекция
Subjects	Физика; Электронные и ионные явления. Физика плазмы; Физическая оптика; лазерная плазма; ксеноновая плазма; источники излучения; литография; газоструйные мишени; лазерные импульсы; брэгговская спектрометрия; laser plasma; xenon plasma; radiation sources; lithography; gas jet targets; laser pulses; bragg spectrometry
UDC	533.9; 535.2/3
LBC	22.333; 22.343
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.17586/1023-5086-2024-91-06-47-61
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://eivis.ru/browse/issue/13873662/viewer?udb=12&page=49

Оптимизация условий возбуждения ксеноновой лазерной плазмы в источнике экстремального ультрафиолетового излучения для нанолитографии с целью повышения его эффективности // Оптический журнал: научно-технический журнал. – 2024. – № 5. — С. 95-104

Creators	Буторин П. С.; Калмыков С. Г.
Organization	"Невская фотоника - 2023", всероссийская научная конференция с международным участием
Imprint	2024
Collection	Общая коллекция
Subjects	Физика; Физическая оптика; Ультрафиолетовые лучи; лазерная плазма; ксеноновая лазерная плазма; возбуждение плазмы; ультрафиолетовое излучение; нанолитография; экстремальный ультрафиолет; лазерные пробои; laser plasma; xenon laser plasma; plasma excitation; ultraviolet radiation; nanolithography; extreme ultraviolet; laser breakouts
UDC	535.2/3; 535-31
LBC	22.343; 22.347
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.17586/1023-5086-2024-91-05-95-104
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://eivis.ru/browse/issue/13699102/viewer?udb=12&page=97

1