Electronic Documents Search
Documents found: 1
-
Creators Абдуллин И. Ш.; Желтухин В. С.; Некрасов И. К.; Шаехов М. Ф.; Сагитова Ф. Р. Imprint 2024 Collection Общая коллекция Subjects Физика; Электронные и ионные явления. Физика плазмы; модификация изделий; слои положительных зарядов; высокочастотные ёмкостные разряды; динамический вакуум; струи ёмкостных разрядов; низкоэнергетические ионы; плазменная обработка; modification of products; layers of positive charges; high-frequency capacitive discharges; dynamic vacuum; jets of capacitive discharges; low-energy ions; plasma treatment UDC 533.9 LBC 22.333 Document type Article, report File type Other Language Russian DOI 10.30791/0015-3214-2024-1-30-40 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) https://www.elibrary.ru/item.asp?id=65311572