Electronic Documents Search
Documents found: 2
-
Creators Белянов Илья Андреевич Scientific adviser Осипов Артём Арменакович Other creators Филатов Леонид Анатольевич Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта Imprint Санкт-Петербург, 2021 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects магнетронное распыление; реактивные газы; постоянный ток; магнетрон; автоматизация; magnetron sputtering; reactive gases; direct current; magnetron; automation Document type Bachelor graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Bachelor Speciality code (FGOS) 28.03.01 Speciality group (FGOS) 280000 - Нанотехнологии и наноматериалы Links http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/rev/vr21-2165-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/rev/vr21-2165-a.pdf DOI 10.18720/SPBPU/3/2021/vr/vr21-2165 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 2.4 Mb -
Creators Рыбин Алексей Анатольевич Scientific adviser Бердников Ярослав Александрович Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Физико-механический институт Imprint Санкт-Петербург, 2024 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects ЭЦР-источник; газоразрядная камера; система формирования пучка; эмиссионный электрод; прижимное кольцо; магнетрон; диэлектрическое окно; ECR source; plasma; gas discharge chamber; beam formation system; emission electrode; cless ring; magnetron; dielectric window Document type Bachelor graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Bachelor Speciality code (FGOS) 03.03.02 Speciality group (FGOS) 030000 - Физика и астрономия DOI 10.18720/SPBPU/3/2024/vr/vr24-4700 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) pdf, 3.0 Mb
