Electronic Documents Search
Documents found: 1
-
Advanced mechatronics and MEMS devices
Creators Zhang Dan Imprint New York, NY: Springer, 2013 Collection Электронные книги зарубежных издательств; Общая коллекция Subjects Мехатроника; Робототехнические системы; Микроэлектроника; MEMS; MEMS sensors; mechatronic; microsystems; robotics UDC 621.865.8; 621.3.049.77 Document type Other File type Other Language English Rights Доступ из локальной сети ФБ СПбПУ (чтение, печать, копирование) https://link.springer.com/book/10.1007/978-1-4419-9985-6