Electronic Documents Search
Documents found: 4
-
Creators Алексеев Владислав Алексеевич Scientific adviser Волков Андрей Николаевич Other creators Серикова Елена Андреевна Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта Imprint Санкт-Петербург, 2023 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects автоматизация; плазмохимическое травление; алгоритм; управление; реактор; камера; манипулятор; automation; plasma chemical etching; algorithm; control; reactor; chamber; manipulator Document type Bachelor graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Bachelor Speciality code (FGOS) 15.03.04 Speciality group (FGOS) 150000 - Машиностроение DOI 10.18720/SPBPU/3/2023/vr/vr23-4316 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) pdf, 4.3 Mb -
Creators Гагаева Алина Евгеньевна Scientific adviser Осипов Артём Арменакович Other creators Филатов Леонид Анатольевич Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта Imprint Санкт-Петербург, 2021 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects плазмохимическое травление; монокристаллический кремний; глубокое травление; анизотропное травление; plasma chemical etching; monocrystalline silicon; seep etching; anisotropic etching Document type Bachelor graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Bachelor Speciality code (FGOS) 28.03.01 Speciality group (FGOS) 280000 - Нанотехнологии и наноматериалы Links http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/rev/vr21-2117-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2021/vr/rev/vr21-2117-a.pdf DOI 10.18720/SPBPU/3/2021/vr/vr21-2117 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) pdf, 1.6 Mb -
Creators Дворецкая Л. Н.; Можаров А. М.; Комаров С. Д.; Вячеславова Е. А.; Моисеев Э. И.; Федоров В. В.; Мухин И. С. Imprint 2024 Collection Общая коллекция Subjects Физика; Геометрическая оптика. Оптические приборы; микрорезонаторы; оптические микрорезонаторы; изолированные микрорезонаторы; микрорезонаторы на кремнии; плазмохимическое травление; микрофотолюминесценция; полупроводниковые материалы; microresonators; optical microresonators; insulated microresonators; silicon microresonators; plasma chemical etching; microphotoluminescence; semiconductor materials UDC 535.31 LBC 22.344 Document type Article, report File type PDF Language Russian DOI 10.18721/JPM.17303 Rights Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 1.6 Mb -
Creators Царик К. А.; Некрасов Н. П.; Неволин В. К.; Бобринецкий И. И. Imprint 2022 Collection Общая коллекция Subjects Физика; Движение заряженных частиц в электрических и магнитных полях; графены; подвешенные графены; структура графенов; микроразмерные поры; кремниевые микропоры; плазмохимическое травление; ионная литография; graphenes; suspended graphenes; graphene structure; micro-sized pores; silicon micropores; plasma chemical etching; ion lithography UDC 537.533/534 LBC 22.338 Document type Article, report File type Other Language Russian DOI 10.24151/1561-5405-2022-27-6-707-714 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) https://elibrary.ru/item.asp?id=49993424
