Electronic Documents Search

Documents found: 1

1

Моделирование источников рентгеновского излучения для станции фотолитографии на технологическом накопительном комплексе "Зеленоград" // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2024. – Т. 29, № 3. — С. 300-309

Creators	Смоляков Н. В.; Марченков Н. В.; Лебедев А. М.; Чумаков Р. Г.; Гончаренко М. С.; Дюжев Н. А.
Imprint	2024
Collection	Общая коллекция
Subjects	Физика; Рентгеновские лучи. Гамма-лучи; рентгеновское излучение; моделирование источников излучения; ондуляторы; станции фотолитографии; технологические накопительные комплексы; электронные накопительные кольца; синхротронное излучение; X-ray radiation; modeling of radiation sources; undulators; photolithography stations; technological storage complexes; electronic storage rings; synchrotron radiation
UDC	535.34/36
LBC	22.346
Document type	Article, report
File type	Other
Language	Russian
DOI	10.24151/1561-5405-2024-29-3-300-309
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

https://www.elibrary.ru/item.asp?id=67881705

1