Поиск по электронным документам
Найдено документов: 1
-
Авторы Klunnikova YU. V.; Anikeev M. V.; Filimonov A. V. Выходные сведения 2022 Коллекция Общая коллекция Тематика Радиоэлектроника; Полупроводниковые приборы; thermomechanical models; thermoelastic stresses; laser annealing; titanium dioxide; sapphire substrates (technique); numerical methods; titanium oxide films; термоупругие напряжения; лазерный отжиг; диоксид титана; сапфировые подложки (техника); численные методы; пленки оксида титана; термомеханические модели УДК 621.382 ББК 32.852 Тип документа Статья, доклад Тип файла PDF Язык Английский DOI 10.18721/JPM.15308 Права доступа Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 1,3 Мб