Поиск по электронным документам
Найдено документов: 1
-
Авторы Макурин Илья Владимирович Научный руководитель Таганцев Дмитрий Кириллович Организация Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт металлургии, машиностроения и транспорта Выходные сведения Санкт-Петербург, 2019 Коллекция Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Тематика методы плазмохимического травления; травление ниобата лития; установки плазмохимического травления; технологии плазмохимического травления; высокотемпературное плазмохимическое травление; plasma chemical etching methods; niobat lithium eyching; plasma chemical installation; technology of plasma chemical etching; high temperature plasma chemical etching Тип документа Выпускная квалификационная работа бакалавра Тип файла PDF Язык Русский Уровень высшего образования Бакалавриат Код специальности ФГОС 28.03.01 Группа специальностей ФГОС 280000 - Нанотехнологии и наноматериалы Ссылки http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-2303-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-2303-a.pdf DOI 10.18720/SPBPU/3/2019/vr/vr19-2303 Права доступа Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 1,1 Мб
