Поиск по электронным документам
Найдено документов: 1
-
Авторы Белавина Наталья Александровна Научный руководитель Шахмин Александр Львович Другие авторы Филатов Леонид Анатольевич Организация Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта Выходные сведения Санкт-Петербург, 2020 Коллекция Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Тематика Акустоэлектроника; Кремний, окислы; термокомпенсация; ионно-лучевое травление; планаризация; thermocompensation; ion beam etching; planarization УДК 534:621.38 Тип документа Выпускная квалификационная работа магистра Тип файла PDF Язык Русский Уровень высшего образования Магистратура Код специальности ФГОС 22.04.01 Группа специальностей ФГОС 220000 - Технологии материалов Ссылки http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-1367-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-1367-r.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-1367-a.pdf DOI 10.18720/SPBPU/3/2020/vr/vr20-1367 Права доступа Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) pdf, 3,1 Мб
