Electronic Documents Search

Documents found: 1

1

Исследование возможности применения ионно-лучевого травления для планаризации термокомпенсированных ПАВ-фильтров: выпускная квалификационная работа магистра: направление 22.04.01 «Материаловедение и технологии материалов» ; образовательная программа 22.04.01_01 «Материаловедение наноматериалов и компонентов электронной техники»

Creators	Белавина Наталья Александровна
Scientific adviser	Шахмин Александр Львович
Other creators	Филатов Леонид Анатольевич
Organization	Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта
Imprint	Санкт-Петербург, 2020
Collection	Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects	Акустоэлектроника; Кремний, окислы; термокомпенсация; ионно-лучевое травление; планаризация; thermocompensation; ion beam etching; planarization
UDC	534:621.38
Document type	Master graduation qualification work
File type	PDF
Language	Russian
Level of education	Master
Speciality code (FGOS)	22.04.01
Speciality group (FGOS)	220000 - Технологии материалов
Links	http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-1367-o.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-1367-r.pdf; http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-1367-a.pdf
DOI	10.18720/SPBPU/3/2020/vr/vr20-1367
Rights	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)

pdf, 3.1 Mb

1