Громов, Павел Юрьевич. Изучение свойств наноструктурированных пленок кремния, полученных методом плазмо-химического осаждения [Электронный ресурс]: магистерская диссертация / П.Ю. Громов; Санкт-Петербургский государственный политехнический университет, Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций, Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники. — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 4,67 Мб). — Санкт-Петербург, 2014. — Загл. с титул. экрана. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Текстовый файл. — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/4179.pdf>.
Период
|
Чтение
|
Печать
|
Копирование
|
Открытие
|
Итого
|
Год 2014
|
42
|
0
|
20
|
0
|
62
|
Год 2015
|
52
|
0
|
27
|
0
|
79
|
Год 2016
|
40
|
0
|
13
|
0
|
53
|
Год 2017
|
41
|
0
|
132
|
0
|
173
|
Год 2018
|
29
|
0
|
262
|
0
|
291
|
Год 2019
|
22
|
0
|
361
|
0
|
383
|
Год 2020
|
23
|
0
|
50
|
0
|
73
|
2021
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
Год 2022
|
0
|
0
|
1
|
0
|
1
|
2023
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
Год 2024
|
2
|
0
|
1
|
0
|
3
|
Всего
|
251
|
0
|
867
|
0
|
1 118
|