Зуфаров, Вадим Марсельевич. Диэлектрические свойства PECVD пленок нитрида кремния [Электронный ресурс]: бакалаврская работа / В. М. Зуфаров; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций, Физической электроники. — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 1,77 МБ). — Санкт-Петербург, 2015. — Загл. с титул. экрана. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/6912.pdf>.
|
Period
|
Read
|
Print
|
Copy
|
Open
|
Total
|
|
Year 2015
|
37
|
0
|
37
|
0
|
74
|
|
Year 2016
|
42
|
0
|
45
|
0
|
87
|
|
Year 2017
|
27
|
0
|
349
|
0
|
376
|
|
Year 2018
|
34
|
0
|
566
|
0
|
600
|
|
Year 2019
|
14
|
0
|
490
|
0
|
504
|
|
Year 2020
|
12
|
0
|
61
|
0
|
73
|
|
Total
|
166
|
0
|
1,548
|
0
|
1,714
|
